一种纳米压印方法

摘要：

本发明公开了一种纳米压印方法，包括如下步骤：（1）将单体溶液滴在要压印的衬底上；（2）将模板压到衬底上，使单体溶液分散开并填充模板中的空腔；（3）将步骤（2）所得的模板和衬底放入纳米压印机中，当衬底和模板光学对准后，用紫外光透过模板照射压印区域，固化成型后，移去模板；（4）刻蚀残留层和进行图案转移。本发明提供的纳米压印方法操作步骤简单，使用方便、灵活，具有环保高效等优点，有利于推广应用。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310511050.1

申请日期：2013-10-25

公开/公告号：CN103513511A

公开/公告日：2014-01-15

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:无锡英普林纳米科技有限公司

发明/设计人:王晶

主申请人地址:214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号

专利代理机构:南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人:成立珍

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种纳米压印方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将单体溶液滴在要压印的衬底上；（2）将模板压到衬底上，使单体溶液分散开并填充模板中的空腔；（3）将步骤（2）所得的模板和衬底放入纳米压印机中，当衬底和模板光学对准后，用紫外光透过模板照射压印区域，固化成型后，移去模板；（4）刻蚀残留层和进行图案转移。