一种纳米压印机

摘要：

本发明公开了一种纳米压印机，包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。本发明提供的纳米压印机充分利用高压仓内的压力气体保证压印模板压入平衡、均匀；通过调平装置可以保证压印模板和压印基板的平整性；本发明结构简单、成本低，适合推广应用。?

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310507352.1

申请日期：2013-10-25

公开/公告号：CN103529644A

公开/公告日：2014-01-22

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:无锡英普林纳米科技有限公司

发明/设计人:王晶

主申请人地址:214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号

专利代理机构:南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人:成立珍

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种纳米压印机，其特征在于：包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。