一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置

摘要：

本发明提供一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，其中控制方法包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。本发明所提供的精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法及装置，通过对精密测长机中冷却缓冲机构的进出片方式设计，增强了冷却缓冲机构的操作智能型，保证玻璃恒温时间的统一性，提高量测准确性，可满足工程人员的进阶实验操作，并同时实现了主机台量测的高利用率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310502553.2

申请日期：2013-10-23

公开/公告号：CN103529652A

公开/公告日：2014-01-22

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:深圳市华星光电技术有限公司

发明/设计人:黄文德

主申请人地址:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

专利代理机构:深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238

代理人:潘中毅%熊贤卿

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种精密测长机中冷却缓冲机构的进出片控制方法，包括：步骤S1，在冷却缓冲机构中当前优先级的槽位Slot完成进片时，启动计时；步骤S2，计时达到第一时间T1时，启动下一优先级的Slot进片。