1×2平行光分束双面集成光栅

摘要：

一种用于1064纳米波长的TM偏振的石英的1×2平行光分束双面集成光栅，该光栅的周期为797～803纳米，脊深为1707～1711纳米，占空比为0.5，用于实现-1级高效率衍射的光栅的周期为800纳米，脊深为3417纳米，占空比为0.5。当TM偏振光在一级布拉格角入射时，其透射光将分成等强度的2束平行光，这2束光总的衍射效率大于97%，并且其均匀性优于7%。本发明TM偏振倾斜石英1×2平行光分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310497344.3

申请日期：2013-10-22

公开/公告号：CN103558659A

公开/公告日：2014-02-05

主分类号：G02B6/124(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所

发明/设计人:周常河;李树斌;曹红超;吴俊;朱锋

主申请人地址:201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

专利代理机构:上海新天专利代理有限公司 31213

代理人:张泽纯

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种1064纳米波长的TM偏振的石英的1×2平行光分束双面集成光栅，其特征在于该光栅的周期为797～803纳米，脊深为1707～1711纳米，占空比为0.5，用于实现?1级高效率衍射的光栅的周期为800纳米，脊深为3417纳米，占空比为0.5。