一种用于去除光阻残留物的清洗液
本发明公开了一种用于去除光阻残留物的清洗液及其组成。这种去除光阻残留物的清洗液含有季胺氢氧化物,醇胺,溶剂,有机多胺。该清洗液能够更为有效地去除晶圆上的光阻残留物,对金属铜等基本不腐蚀;在半导体晶片清洗等领域具有良好的应用前景。
发明专利
CN201310245618.X
2013-06-20
CN104238288A
2014-12-24
G03F7/42(2006.01)I
安集微电子科技(上海)有限公司
刘兵;孙广胜;何春阳
201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层
上海翰鸿律师事务所 31246
李佳铭
上海;31
一种用于去除光阻残留物的清洗液,含有季胺氢氧化物,醇胺,溶剂,其特征在于,所述清洗液包含有有机多胺。