一种多光源大视场拼接照明系统

摘要：

本发明提出一种多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，包括：多个光源，多个光纤，及多个照明分系统，每个光源和每个照明分系统之间至少设置有一个光纤，光线由所述光源发射，经过所述多个光纤分别入射到所述多个照明分系统，经所述照明分系统处理后在掩模板上形成照明视场。本发明使用多根光纤拼接耦合的技术方案可以克服大直径多分支光纤的制造困难和对灯室设计安装造成的限制。通过平行平板/楔形平板调节装置克服因单个汞灯故障造成的像面不均匀性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310183230.1

申请日期：2013-05-17

公开/公告号：CN104166312A

公开/公告日：2014-11-26

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:景磊;张祥翔;陈璐玲

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人:王光辉

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，包括：多个光源，多个光纤，及多个照明分系统，每个光源和每个照明分系统之间至少设置有一个光纤，光线由所述光源发射，经过所述多个光纤分别入射到所述多个照明分系统，经所述照明分系统处理后在掩模板上形成照明视场。