用于衰减显微镜光束路径中声波的装置和具有其的显微镜
本发明提供一种用于衰减显微镜光束路径中声波的装置和具有其的显微镜。所述装置具有用于封装声波发射元件的隔声外壳(2),所述声波发射元件优选地为快速移动或振荡光束偏转仪器,特别地为共振振荡镜(3),所述外壳(2)包括至少一个光入开口/出开口,其中,所述外壳(2),优选地所述外壳的开口配备和/或构造为使从所述外壳(2)出来的声波通过相消干涉被大大消除而不影响光束(4)。
发明专利
CN201310181178.6
2013-05-16
CN103426426A
2013-12-04
G10K11/175(2006.01)I
莱卡微系统CMS有限责任公司
霍尔格·比尔克;沃尔克·谢弗雷德;德克-奥立夫·费雷尔;维什努·瓦尔丹·克里斯纳马查里
德国威茨勒
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
宋融冰
德国;DE
一种用于衰减显微镜的光束路径(1)中的声波的装置,具有用于封装声波发射元件的隔声外壳(2),所述声波发射元件优选地为快速移动或振荡光束偏转仪器,特别地为共振振荡镜(3),所述外壳(2)包括至少一个光入开口/出开口(开口),其中,所述外壳(2),优选地所述外壳的开口配备和/或构造为使从所述外壳(2)出来的声波通过相消干涉被大大消除而不影响光束(4)。