一种掩膜版回推机构

摘要：

本发明涉及一种掩膜版回推机构，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。本发明利用所述电机的旋转驱动所述密封门的开合，并利用固定于所述密封门上的推动机构推动掩膜版，使其回复至初始位置，便于后续机械手的抓取动作。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310168049.3

申请日期：2013-05-08

公开/公告号：CN104142612A

公开/公告日：2014-11-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:王刚;胡松立;姜晓玉

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种掩膜版回推机构，其特征在于，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。