10.3～11.3μm透过长波红外滤光片及制备方法

摘要：

本发明涉及10.3～11.3μm透过长波红外滤光片及制备方法，属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底和长、短波通膜系；长波通膜系结构为（0.5hl0.5h）^9（0.574l1.148h0.574l）^5（0.36h0.72l0.36h）^5，中心波长7300nm；短波通膜系结构为（lh）^8，中心波长14600nm；l和h分别为硫化锌和碲化铅膜层；通过真空中加热基底，离子源通氩气下电阻蒸发在基底两侧沉积长、短波通膜系，冷却后制得。该滤光片在10.3～11.3μm透过率高，0.9～10.15μm和11.45～20μm宽截止，膜系层数较少，满足遥感探测系统使用要求；该方法简便稳定，成品率高。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310150084.2

申请日期：2013-04-25

公开/公告号：CN103245995A

公开/公告日：2013-08-14

主分类号：G02B5/20(2006.01)I

申请/专利权人:兰州空间技术物理研究所

发明/设计人:王多书;董茂进;熊玉卿;张玲;王济洲;李晨;王超;高欢

主申请人地址:730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号

专利代理机构:北京理工大学专利中心 11120

代理人:杨志兵%郭德忠

国别省市代码:甘肃;62

权利要求：

一种10.3～11.3μm透过长波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和基底另一侧的短波通膜系；长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（0.5hl0.5h）^9（0.574l1.148h0.574l）^5（0.36h0.72l0.36h）^5，中心波长为7300nm；h为碲化铅膜层，0.5h表示碲化铅膜层厚度为0.5个基本厚度，1.148h表示碲化铅膜层厚度为1.148个基本厚度，0.36h表示碲化铅膜层厚度为0.36个基本厚度，l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，0.574l表示硫化锌膜层厚度为0.574个基本厚度，0.72l表示硫化锌膜层厚度为0.72个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数为9，基本膜堆（0.574l1.148h0.574l）和（0.36h0.72l0.36h）的周期数均为5；短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（lh）^8，中心波长为14600nm；l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，基本膜堆（lh）的周期数为8。