产生辅助图案的方法

摘要：

本发明提供一种产生辅助图案的方法。提供多个主图案。由主图案中选择第一主图案，在其周围配置多个规则导向图案。在第一主图案周围产生模式导向图案。从规则导向图案中提取出与模式导向图案重叠率达到一目标值的重叠布林图案。以重叠布林图案作为辅助图案，辅助图案与第一主图案组成转印图案。此种方法大幅地降低直接以模式导向图案形成辅助图案的计算时间，或大幅地增加直接以规则导向图案形成辅助图案的正确性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310146995.8

申请日期：2013-04-25

公开/公告号：CN103676462A

公开/公告日：2014-03-26

主分类号：G03F1/36(2012.01)I

申请/专利权人:南亚科技股份有限公司

发明/设计人:陈述豪

主申请人地址:中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号

专利代理机构:北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人:臧建明

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

一种产生辅助图案的方法，其特征在于，包括：提供多个主图案；由上述主图案中选择第一主图案；在上述第一主图案周围配置多个规则导向图案；在上述第一主图案周围产生模式导向图案；以及从上述规则导向图案中提取出一重叠布林图案，上述重叠布林图案与上述模式导向图案重叠率达到目标值，以上述重叠布林图案作为辅助图案，上述辅助图案与上述第一主图案组成转印图案。