一种高品质因子的单端对声表面波谐振器

摘要：

本发明涉及一种高品质因子的单端对声表面波谐振器，包括一块压电基片（22）、置于压电基片（22）表面的一个叉指换能器（24），和分布在叉指换能器（24）两侧的第一反射器（23）和第二反射器（25）；所述的第一反射器（23）和第二反射器（25）与叉指换能器（24）之间的边缘间距均为0.625λ，λ为声波波长。所述的叉指换能器（24）采用布莱克曼窗函数切指加权结构。所述的叉指换能器（24）、第一反射器（23）和第二反射器（25）均采用铝材料电极，电极占空比为1.3～1.5。所述的叉指换能器（24）、第一反射器（23）和第二反射器（25）的铝电极膜厚为1.1%～1.5%λ。本发明获得单端对SAW谐振器的小体积、高Q值和较小带外波动等特性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310012272.9

申请日期：2013-01-11

公开/公告号：CN103929147A

公开/公告日：2014-07-16

主分类号：H03H9/25(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院声学研究所%江苏声立传感技术有限公司

发明/设计人:王文;周寒冰

主申请人地址:100190 北京市海淀区北四环西路21号

专利代理机构:北京法思腾知识产权代理有限公司 11318

代理人:杨小蓉%杨青

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种高品质因子的单端对声表面波谐振器，所述的单端对声表面波谐振器（21）包括一块压电基片（22）、置于压电基片（22）表面的一个叉指换能器（24），和分布在叉指换能器（24）两侧的第一反射器（23）和第二反射器（25）；其特征在于：所述的第一反射器（23）和第二反射器（25）与叉指换能器（24）之间的边缘间距均为0.625λ，λ为声波波长。