位置检测装置和位置控制装置

摘要：

同时校正基于温度变化和磁通的非线性的检测误差。本发明的位置检测装置的特征在于，其具有：基台部；可动部，其能够相对于基台部进行相对移动；位置检测部，其根据磁通的变化来检测可动部相对于基台部的位置，输出位置信息；温度检测部，其检测周围温度；以及位置校正部，其根据位置信息与规定值的差分以及周围温度计算校正值，根据计算出的校正值对位置信息进行校正。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201280071615.2

申请日期：2012-12-25

公开/公告号：CN104185812A

公开/公告日：2014-12-03

主分类号：G03B5/00(2006.01)I

申请/专利权人:奥林巴斯株式会社

发明/设计人:石川隆志;下山真雅;西原林太郎

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:李辉%黄纶伟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种位置检测装置，其特征在于，该位置检测装置具有：基台部；可动部，其能够相对于所述基台部进行相对移动；位置检测部，其根据磁通的变化来检测所述可动部相对于所述基台部的位置，输出位置信息；温度检测部，其检测周围温度；以及位置校正部，其根据所述位置信息与规定值的差分以及所述周围温度计算校正值，根据计算出的所述校正值对所述位置信息进行校正。