一种负型感光性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、绝缘膜、滤色器及显示装置

摘要：

本发明提供能够以低曝光量形成密合性优异的图案的负型感光性树脂组合物、使用该负型感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该负型感光性树脂组合物而形成的固化膜、绝缘膜及滤色器、以及具备该固化膜、绝缘膜或滤色器的显示装置。本发明的负型感光性树脂组合物含有下述式（1）所示的化合物。式中，R¹和R²分别独立地表示氢原子或有机基团，R¹和R²中的至少一方表示有机基团。对于R¹和R²，它们可以键合而形成环状结构，也可以包含杂原子的键。R³表示单键或有机基团。R⁴～R⁹分别独立地表示氢原子、有机基团等，但是，R⁶和R⁷不为羟基。R¹⁰表示氢原子或有机基团。<img file="DDA0000467729480000011.TIF" wi="906" he="360" />

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201280040593.3

申请日期：2012-06-15

公开/公告号：CN103797418A

公开/公告日：2014-05-14

主分类号：G03F7/085(2006.01)I

申请/专利权人:东京应化工业株式会社

发明/设计人:盐田大;黑子麻祐美;野田国宏;田所惠典

主申请人地址:日本神奈川县

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:蒋亭

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种负型感光性树脂组合物，其含有下述式（1）所示的化合物，<img file="FDA0000467729460000011.TIF" wi="920" he="368" />式中，R¹和R²分别独立地表示氢原子或有机基团，其中，R¹和R²中的至少一方表示有机基团；对于R¹和R²，它们可以键合而形成环状结构，也可以包含杂原子的键；R³表示单键或有机基团；R⁴和R⁵分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团；R⁶、R⁷、R⁸和R⁹分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团，其中，R⁶和R⁷不为羟基；对于R⁶、R⁷、R⁸和R⁹，它们中的2个以上可以键合而形成环状结构，也可以包含杂原子的键；R¹⁰表示氢原子或有机基团。