一种液态源的汽化装置

摘要：

本实用新型公开了一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管，液位计套管内设有液位计内芯，液位计内芯的上端从液位计套管中露出，液位计套管的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1-100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管，加热器套管内设有加热器内芯，加热器内芯的上端从加热器套管中露出，加热器套管的上端密封。本实用新型在现有汽化装置的基础上，改变了液位计和加热器的应用形式，配置的液位计内芯和加热器内芯可根据需要更换材质和规格，使系统压力、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201220066944.5

申请日期：2012-02-27

公开/公告号：CN202452106U

公开/公告日：2012-09-26

主分类号：F17C7/04(2006.01)I

申请/专利权人:上海正帆科技有限公司%上海正帆半导体设备有限公司

发明/设计人:李东升;龚小雷;缪南山;张敏

主申请人地址:201108 上海市闵行区光华路968号B座3楼

专利代理机构:上海申汇专利代理有限公司 31001

代理人:翁若莹

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置(1)上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管(1)，液位计套管(2)内设有液位计内芯(3)，液位计内芯(3)的上端从液位计套管(2)中露出，液位计套管(2)的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1?100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管(6)，加热器套管(6)内设有加热器内芯(7)，加热器内芯(7)的上端从加热器套管(6)中露出，加热器套管(6)的上端密封。