一种掩模对准信号的归一化方法

摘要：

本发明提出一种掩模对准信号的归一化方法，其特征在于，引入一归一化系数<img file="dest_path_image002.TIF" wi="26" he="26" />，以消除由于归一化标记通道的响应曲线与分支标记通道的响应特性的不一致性，实现掩模对准信号较好的归一化；所述归一化公式为：<img file="dest_path_image004.TIF" wi="138" he="49" />  式中，下标<i>i</i>表示第<i>i</i>次光强采样，下标<i>j</i>表示第<i>j</i>个分支标记，<img file="dest_path_image006.TIF" wi="33" he="26" />为分支标记<i>j</i>的第<i>i</i>次光强采样数据，<img file="dest_path_image008.TIF" wi="28" he="26" />为分支标记<i>j</i>的暗电流，<img file="dest_path_image010.TIF" wi="21" he="20" />为归一化标记的暗电流，<img file="dest_path_image012.TIF" wi="20" he="25" />为归一化标记的第<i>i</i>次光强采样数据，<img file="756762dest_path_image002.TIF" wi="26" he="26" />为第<i>j</i>个分支标记第<i>i</i>次光强采样的归一化系数，<img file="dest_path_image014.TIF" wi="26" he="26" />为分支标记<i>j</i>的经归一化后的第<i>i</i>次光强数据。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210553094.6

申请日期：2012-12-19

公开/公告号：CN103885283A

公开/公告日：2014-06-25

主分类号：G03F1/42(2012.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:李运锋

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人:王光辉

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种掩模对准信号的归一化方法，其特征在于，引入一归一化系数<img file="271779dest_path_image001.TIF" wi="26" he="26" />，以消除由于归一化标记通道的响应曲线与分支标记通道的响应特性的不一致性，实现掩模对准信号较好的归一化；所述归一化公式为：<img file="692396dest_path_image002.TIF" wi="138" he="49" />式中，下标<i>i</i>表示第<i>i</i>次光强采样，下标<i>j</i>表示第<i>j</i>个分支标记，<img file="102649dest_path_image003.TIF" wi="33" he="26" />为分支标记<i>j</i>的第<i>i</i>次光强采样数据，<img file="950519dest_path_image004.TIF" wi="28" he="26" />为分支标记<i>j</i>的暗电流，<img file="875750dest_path_image005.TIF" wi="21" he="20" />为归一化标记的暗电流，<img file="850790dest_path_image006.TIF" wi="20" he="25" />为归一化标记的第<i>i</i>次光强采样数据，<img file="115549dest_path_image001.TIF" wi="26" he="26" />为第<i>j</i>个分支标记第<i>i</i>次光强采样的归一化系数，<img file="399900dest_path_image007.TIF" wi="26" he="26" />为分支标记<i>j</i>的经归一化后的第<i>i</i>次光强数据。