一种聚焦限位调节方法

摘要：

本发明公开了一种聚焦限位调节方法，应用于一带有显示单元的曝光机台中，所述方法包括：检测所述曝光机台的硬件限位开关是否从第一位置转换到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范围大；当所述硬件限位开关位于所述第二位置时，检测是否有第一动作，其中，所述第一动作为用于手动调节驱动电压值时压到所述硬件限位开关的动作；当检测到所述第一动作时，在所述显示单元显示所述第一动作对应的驱动电压；当检测到有第二动作时，响应所述第二动作，生成第一命令，其中，所述第二动作为请求进入命令编辑状态的动作；执行所述第一命令，写入所述驱动电压对应的软件限位值。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210546133.X

申请日期：2012-12-14

公开/公告号：CN103869634A

公开/公告日：2014-06-18

主分类号：G03F7/207(2006.01)I

申请/专利权人:北大方正集团有限公司%深圳方正微电子有限公司

发明/设计人:殷瑞腾

主申请人地址:100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层

专利代理机构:北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人:黄志华

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种聚焦限位调节方法，应用于一带有显示单元的曝光机台中，其特征在于，所述方法包括：检测所述曝光机台的硬件限位开关是否从第一位置转换到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范围大；当所述硬件限位开关位于所述第二位置时，检测是否有第一动作，其中，所述第一动作为用于手动调节驱动电压值时压到所述硬件限位开关的动作；当检测到所述第一动作时，在所述显示单元显示所述第一动作对应的驱动电压；当检测到有第二动作时，响应所述第二动作，生成第一命令，其中，所述第二动作为请求进入命令编辑状态的动作；执行所述第一命令，写入所述驱动电压对应的软件限位值。