以光纤作为空间滤波器与扩束器的激光干涉微影设备

摘要：

于激光干涉微影设备中，激光光源提供第一激光光束，光学元件组合是光学耦接至激光光源，接收并处理第一激光光束以提供第二激光光束。曝光载台用于承载待曝物。光纤组接收第二激光光束并将其处理成不具有空间杂讯的单一模态的稳定同调第三激光光束。利用第三激光光束于待曝物上产生干涉图案。在激光光源的输出端至曝光载台的光路中，不存在有针孔空间滤波器及扩束器。通过本发明的实施样态，可以利用光纤滤除空间杂讯，得到不具有空间杂讯的纯净、单一模态、稳定的激光光束以供激光干涉微影用。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210533934.2

申请日期：2012-12-12

公开/公告号：CN103792795A

公开/公告日：2014-05-14

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:傅建中

发明/设计人:傅建中;孙宜嶙;麦达维;林宝德;张恩奖;黄则斌

主申请人地址:中国台湾新竹市

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:任默闻

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

一种激光干涉微影设备，其特征是，所述激光干涉微影设备包含：一激光光源，提供一第一激光光束；一光学元件组合，光学耦接至所述激光光源，接收并处理所述第一激光光束以提供一道或多道第二激光光束；一曝光载台，用于承载一待曝物；以及一光纤组，接收所述一道或多道第二激光光束并将所述一道或多道第二激光光束处理成一道或多道不具有空间杂讯的单一模态的稳定同调第三激光光束，所述光纤组的一工作波长范围涵盖所述第二激光光束的一波长，利用所述一道或多道第三激光光束于所述待曝物上产生一干涉图案，其中在所述激光光源的一输出端至所述曝光载台的一光路中，不存在有针孔空间滤波器及扩束器。