偏振照明装置及偏振照明方法

摘要：

本发明公开了一种偏振照明装置及照明方法，该装置包括沿光轴方向依次设置的光路传输单元、偏振控制单元以及光束整形单元，偏振控制单元能够将来自光路传输单元的光束中的两种偏振光变成所需的同种偏振光并将同种偏振光汇集后传输至光束整形单元，光束整形单元将来自偏振控制单元的光束宽度调整为与偏振控制单元的入射光束宽度一致，通过采用偏振控制单元能够将来自光路传输单元的光束中的两种偏振光变成所需的同种偏振光并将同种偏振光汇集后传输至光束整形单元，从而可利用来自光路传输单元的光束中的两种偏振光，有效防止光能的损失，光束整形单元将来自偏振控制单元的光束宽度调整为与偏振控制单元的入射光束宽度一致的光束，以便后续利用。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210525295.5

申请日期：2012-12-07

公开/公告号：CN103869625A

公开/公告日：2014-06-18

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:马明英;段立峰

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种偏振照明装置，其特征在于，包括沿光轴方向依次设置的光路传输单元、偏振控制单元以及光束整形单元，所述偏振控制单元能够将来自所述光路传输单元的光束中的两种偏振光变成所需的同种偏振光并将所述同种偏振光汇集后传输至所述光束整形单元，所述光束整形单元将来自所述偏振控制单元的光束宽度调整为与所述偏振控制单元的入射光束宽度一致。