一种具有固定辅助边的掩模板及其制作方法

摘要：

本发明公开了一种具有固定辅助边的掩模板，包括掩模板主体、辅助边及半刻线区，其特征在于，所述辅助边设置在所述掩模板主体外侧通过所述半刻线区与所述掩模板主体连接；本发明还公开了相应的制作方法。本发明公开的具有固定辅助边的掩模板可以方便省力的将辅助边切除，并大大降低了传统工艺剪切过程中对原有掩模板上丝网的影响，也避免了传统工艺中的掩模板边缘曲翘甚至使得裁剪区域附近固定点脱落，大大提高了生产效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210524484.0

申请日期：2012-12-10

公开/公告号：CN103869601A

公开/公告日：2014-06-18

主分类号：G03F1/38(2012.01)I

申请/专利权人:昆山允升吉光电科技有限公司

发明/设计人:魏志凌

主申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种具有固定辅助边的掩模板，,包括掩模板主体、辅助边及半刻线区，其特征在于，所述辅助边设置在所述掩模板主体外侧通过所述半刻线区与所述掩模板主体连接。