一种调焦调平装置及调焦调平方法

摘要：

本发明提供的一种调焦调平装置及调焦调平方法，采用空间光调制器，使其可以根据基板的厚度调制测量光斑，改变测量光斑的尺寸，避免产生探测光斑重影的现象，从而提高了探测精度，进而对基板有着较强的适应性，且调制灵活，方便可靠。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210485158.3

申请日期：2012-11-23

公开/公告号：CN103838088A

公开/公告日：2014-06-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:陆侃;杨志勇

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种调焦调平装置，包括照明单元、投影单元、成像单元和探测单元，其特征在于，所述投影单元包括空间光调制器；其中，所述照明单元的测量光斑入射到投影单元，经空间光调制器调制，出射至基板上，经所述基板反射后再经过所述成像单元进入所述探测单元。