一种新型显影喷淋机构

摘要：

本发明公开了一种新型显影喷淋机构，包括：至少为二种喷嘴排列结构不同且相互平行的多个上喷管组成的上喷管阵列，所述上喷管横截面平行显影传送方向且垂直于显影传送面；固定安装在上喷管上且垂直传送平面按规则排布的至少一个及以上的喷嘴；和支撑部件。根据本发明的新型显影喷淋机构，可以有效改善“水池效应”影响，使得显影效果更加均匀，便于操作员对显影点的把握，可以制备结构要求更加精密的掩膜板产品。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210449582.2

申请日期：2012-11-12

公开/公告号：CN103809389A

公开/公告日：2014-05-21

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:昆山允升吉光电科技有限公司

发明/设计人:魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平

主申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种新型显影喷淋机构，其特征在于，包括:喷嘴和由喷嘴排列结构不同的且相互平行规则排列的上喷管组成的上喷管阵列。