一种离轴对准系统及对准方法

摘要：

本发明涉及一种离轴对准系统及方法，该系统包括照明模块、干涉模块及探测模块，照明模块包括光源、多波长入射光纤及分光元件；干涉模块包括偏振分束器，偏振分束器与照明模块和探测模块所在的一侧相对的一侧设有第一1/4波片和第一反射镜，偏振分束器的另外两侧分别设有第二1/4波片、角锥棱镜和第三1/4波片、第二反射镜及透镜，第二反射镜位于透镜的后焦面上，角锥棱镜的底面中心位于透镜的光轴上；探测模块包括探测透镜组、偏振装置、探测光纤及光电探测器。采用离轴对准系统的光栅二次衍射技术，入射光束先后两次经过对准标记，且第二次衍射光束方向与原入射方向完全相反，以确保对准标记倾斜和/或离焦时，探测结果不会受到影响。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210402248.1

申请日期：2012-10-19

公开/公告号：CN103777476A

公开/公告日：2014-05-07

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:张鹏黎;徐文;王帆

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种离轴对准系统，其特征在于，按光束传播路径依次包括照明模块、干涉模块以及探测模块，所述照明模块包括光源、多波长入射光纤以及分光元件；所述干涉模块包括偏振分束器，所述偏振分束器与所述照明模块和探测模块所在的一侧相对的一侧依次设有第一1/4波片和第一反射镜，所述偏振分束器的另外两侧分别依次设有第二1/4波片、角锥棱镜和第三1/4波片、第二反射镜以及透镜，所述第二反射镜位于所述透镜的后焦面上，所述角锥棱镜的底面中心位于所述透镜的光轴上；所述探测模块依次包括探测透镜组、偏振装置、探测光纤以及光电探测器。