3T1R四自由度精密定位工作台

摘要：

本发明公开了一种3T1R四自由度精密定位工作台，包括动平台、柔性末端支撑架、四个柔性支链、底座和四个压电陶瓷驱动器；所述柔性末端支撑架呈“工”字形，位于四个所述柔性支链的顶端与所述动平台之间；所述动平台固定在所述刚性支撑上；四个所述柔性支链并联在所述底座和所述柔性末端支撑架之间，并且结构相同，所述柔性支链包括通过第二弹性铰链连接的柔性主动臂和柔性从动臂；所述底座上固定有刚性支撑台，四个所述压电陶瓷驱动器水平安装在所述刚性支撑台上，分别驱动四个所述柔性支链的所述主动臂。本发明采用柔性并联结构，具有高刚度、高精度、低惯量、结构紧凑、无误差积累等优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210328672.6

申请日期：2012-09-07

公开/公告号：CN102819186A

公开/公告日：2012-12-12

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:天津大学

发明/设计人:田延岭;贾晓辉;张大卫;田佳

主申请人地址:300072 天津市南开区卫津路92号天津大学

专利代理机构:天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人:张金亭

国别省市代码:天津;12

权利要求：

一种3T1R四自由度精密定位工作台，其特征在于，包括动平台、柔性末端支撑架、四个柔性支链、底座和四个压电陶瓷驱动器；所述柔性末端支撑架呈“工”字形，位于四个所述柔性支链的顶端与所述动平台之间，包括横截面为圆形的刚性支撑和两个刚性连接件，所述刚性支撑的竖直两端各通过一第一弹性铰链与一所述刚性连接件相连；所述动平台固定在所述刚性支撑上；四个所述柔性支链并联在所述底座和所述柔性末端支撑架之间，并且结构相同，所述柔性支链包括通过第二弹性铰链连接的柔性主动臂和柔性从动臂；所述柔性从动臂包括横向上连杆、两根竖向连杆和横向下连杆，两根所述竖向连杆的上端各通过一第三弹性铰链与所述横向上连杆连接，两根所述竖向连杆的下端各通过一第四弹性铰链与所述横向下连杆连接，所述横向上连杆、两根所述竖向连杆和所述横向下连杆形成平行四边形；所述柔性主动臂呈“L”形，在其横向部分内设有第五弹性铰链；所述柔性支链的上端通过第六弹性铰链与所述柔性末端支撑架连接，下端固连在所述底座上；相邻的两个所述柔性支链形成一组，它们的中心对称面相互平行，另外两个所述柔性支链形成另一组，它们的中心对称面共面；两组所述柔性支链的中心对称面垂直；所述底座上固定有刚性支撑台，四个所述压电陶瓷驱动器水平安装在所述刚性支撑台上，分别驱动四个所述柔性支链的所述主动臂。