一种推顶机构及具有该推顶机构的光刻装置

摘要：

本发明涉及半导体制造装备技术领域，公开了一种硅片/玻璃基板的推顶机构，以及应用了该推顶机构的光刻装置。该推顶机构包括推顶销、推顶机构底座、连接板以及驱动装置，所述推顶销的底部与连接板固定，所述连接板与推顶机构底座垂向滑动设置，所述驱动装置推动所述连接板垂向运动，尤其，该推顶机构还包括连接在所述连接板与所述驱动装置之间的弹性阻尼装置。该机构利用弹性与阻尼保证推顶销的运动性能与速度，取消了现有技术中的延时以降低了交接时间，且能保证不损坏硅片/玻璃基板，提高产率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210254245.8

申请日期：2012-07-20

公开/公告号：CN103576464A

公开/公告日：2014-02-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:江旭初;陈军

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种推顶机构，包括推顶销、推顶机构底座、连接板以及驱动装置，所述推顶销的底部与连接板固定，所述连接板与推顶机构底座垂向滑动设置，所述驱动装置推动所述连接板垂向运动，其特征在于，该推顶机构还包括连接在所述连接板与所述驱动装置之间的弹性阻尼装置。