一种背面对准装置及背面对准基底贴片方法

摘要：

一种背面对准装置，包括对准光源、对准物镜，支撑基底的卡盘，所述基底背面设有对准标记，以及贴附于所述基底背面的附着层，其特征在于，所述附着层在对应于所述基底的背面对准标记的位置处设置有开口以露出所述对准标记，所述对准光源发出的光穿过该开口直接入射至所述基底的背面的对准标记上。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210195584.3

申请日期：2012-06-14

公开/公告号：CN103488064A

公开/公告日：2014-01-01

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:张俊

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人:王光辉

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种背面对准装置，包括对准光源、对准物镜，支撑基底的卡盘，所述基底背面设有对准标记，以及贴附于所述基底背面的附着层，其特征在于，所述附着层在对应于所述基底的背面对准标记的位置处设置有开口以露出所述对准标记，所述对准光源发出的光穿过该开口直接入射至所述基底的背面的对准标记上。