MEMS谐振器及其控制方法

摘要：

本发明提供了一种MEMS谐振器及其控制方法。MEMS谐振器具有提供与换能间隙相关联的电容的部件，所述部件具有依赖于温度的介电特性，该介电特性沿与谐振器材料的杨氏模量对温度的斜率相同的方向(即具有相同斜率)变化。这意味着谐振频率几乎不依赖于温度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210107139.7

申请日期：2012-04-12

公开/公告号：CN102739179A

公开/公告日：2012-10-17

主分类号：H03H3/013(2006.01)I

申请/专利权人:NXP股份有限公司

发明/设计人:金·范乐;皮特·斯蒂内肯;约瑟夫·范贝克

主申请人地址:荷兰艾恩德霍芬

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:王波波

国别省市代码:荷兰;NL

权利要求：

一种MEMS谐振器，包括谐振器本体(12)和激励电极(16)，所述激励电极用于将谐振器驱动到谐振模式，其中激励电极(16)通过非导电间隙(g)与谐振器本体隔开，使得在激励电极与谐振器本体之间限定了间隙电容，其中谐振器包括激励端子(16；23)，所述激励端子包括激励电极或者与激励电极串联电连接，向激励端子上施加激励电极信号(Vdc+Vac)，其中激励端子(16；23)与谐振器本体(12)之间的电容包括间隙电容以及包括表现为电容器的结构，该电容器的介电常数在谐振器的工作温度范围上对温度具有第一依赖性，所述第一依赖性在所述工作温度范围上符号上等于谐振器本体(12)材料的杨氏模量对温度的依赖性，其中在所述工作温度范围上，机械弹簧刚度随温度的变化斜率实质上与电弹簧刚度随温度的变化斜率相等。