一种用于声表面波器件的氮化铝压电薄膜及其制备方法
一种用于声表面波器件的氮化铝压电薄膜,由金刚石衬底和该衬底表面形成的一层氮化铝薄膜构成,所述氮化铝薄膜是厚度为0.6-0.7μm的纳米薄膜;其制备方法是:在MOCVD沉积系统的进样室,首先对金刚石衬底表面进行等离子体清洗,然后采用磁控溅射工艺在金刚石衬底表面沉积一层氮化铝薄膜。本发明的优点是:提供了一种用于高性能声表面波(SAW)器件的AlN压电薄膜,用其制备的SAW器件频率高(≥2.5GHz),且可以承受大功率(≥37dBm),可以满足高频率和/或大功率移动通信的要求;本发明提供的压电薄膜的制备方法,其工艺条件方便易行,有利于大规模推广应用,具有重大的生产实践意义。
发明专利
CN201110087851.0
2011-04-08
CN102122936A
2011-07-13
H03H9/25(2006.01)I
天津理工大学
薛玉明;杨保和;苏林;朱亚东;刘君;宋殿友;潘宏刚;辛治军
300384 天津市南开区红旗南路延长线天津理工大学主校区
天津佳盟知识产权代理有限公司 12002
侯力
天津;12
一种用于声表面波器件的氮化铝压电薄膜,其特征在于:由金刚石衬底和该衬底表面形成的一层氮化铝薄膜构成,所述氮化铝薄膜是厚度为0.6?0.7μm的纳米薄膜。