声表面波装置

摘要：

本发明中的声表面波装置具有压电性单晶基板10，形成在所述压电性单晶基板的由导电性材料构成的基础电极层21，在该基础电极层上通过外延成长形成的含铝的主电极层22，以及由它们构成的叉状电极20。在所述电极20中，具有形成在所述主电极层22上，由与该主电极层以及所述基础电极层不同且比重比铝大的导电性材料构成的上部层23。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201110076295.7

申请日期：2011-03-29

公开/公告号：CN102208906A

公开/公告日：2011-10-05

主分类号：H03H9/64(2006.01)I

申请/专利权人:新科实业有限公司

发明/设计人:中野正洋;上村裕彦;饭岛淳

主申请人地址:中国香港新界沙田香港科学院科技大道东六号新科中心

专利代理机构:广州三环专利代理有限公司 44202

代理人:郝传鑫

国别省市代码:香港;HK

权利要求：

一种声表面波装置，其特征在于，具有压电性单晶基板，由形成在所述压电性单晶基板上的由导电性材料构成的基础电极层；在该基础电极层上通过外延成长形成的含铝的主电极层，以及由它们构成的叉状电极；在所述电极中，具有形成在所述主电极层上，由与该主电极层以及所述基础电极层不同且比重比铝大的导电性材料构成的上部层。