掩模材料、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明提供用溅镀法来在基板上形成图案之际能够抑制产生图案模糊的掩模材料、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟。一种在用溅镀法来在基板(40)上形成图案之际使用的掩模材料(80)，具有与该图案对应的开口(81)，并且未形成有该开口的部分的厚度形成为均匀。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201110072910.7

申请日期：2011-03-15

公开/公告号：CN102195588A

公开/公告日：2011-09-21

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:荒武洁

主申请人地址:日本千叶县千叶市

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%王忠忠

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种掩模材料，在用溅镀法来在基板上形成图案之际使用，其特征在于，具有与该图案对应的开口，并且未形成有该开口的部分的厚度形成为均匀。