振动体、振动装置、以及电子设备
本发明提供一种能够以简单且低成本的方式获得所需的振动特性的振动体、振动装置以及电子设备。振动体(2)具备:基部(27);从该基部起延伸的振动臂(28、29、30);被设置在该振动臂上的压电体元件(22、23、24);被设置在该振动臂上的第1电极层(222、231、241);被设置在该第1电极层上的压电体层(222、232、242);被设置在该压电体层上的第2电极层(223、233、243),其中,在这些层中的至少一个层上,形成有多个在其厚度方向上贯穿的细微的孔。
发明专利
CN201110068370.5
2011-03-17
CN102195564A
2011-09-21
H03B5/32(2006.01)I
精工爱普生株式会社
山崎隆
日本东京
北京金信立方知识产权代理有限公司 11225
黄威%孙丽梅
日本;JP
一种振动体,其特征在于,具有:基部;振动臂,其从所述基部起延伸;压电体元件,其被设置在所述振动臂上,并通过通电而进行伸缩以使所述振动臂振动,其中,所述压电体元件具备第1电极层、第2电极层、和位于所述第1电极层以及所述第2电极层之间的压电体层,在所述第1电极层、所述压电体层以及所述第2电极层中的至少一个层上,形成有多个在其厚度方向上贯穿的孔。