振动片、传感器元件、传感器以及电子设备

摘要：

本发明提供振动片、传感器元件、传感器以及电子设备，使传感器元件的灵敏度提高，推进振动片的小型化。振动片(90)的特征在于包括第一基部(100a)和从第一基部沿第一方向延伸的振动臂(200)，振动臂包括沿第一方向从第一基部侧依次排列的第一区域(ZA)、第二区域(ZB)和第三区域(ZC)，第一～第三区域包括沿俯视与第一方向垂直的第二方向产生电场且彼此电独立的第一电极(Na1～Na3)和第二电极(Nb1～Nb3)，第一、第三区域的电场方向(E5、E7)与第二区域的电场方向(E6)互为相反方向，借助第二方向的电场使振动臂产生第一方向的伸缩，使振动臂向与第一方向和第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201110063784.9

申请日期：2011-03-16

公开/公告号：CN102195604A

公开/公告日：2011-09-21

主分类号：H03H9/19(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:西泽竜太;市川想

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:党晓林%王小东

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种振动片，其特征在于，该振动片包括：基部；以及振动臂，该振动臂从所述基部沿第一方向延伸，所述振动臂包括沿所述第一方向从所述基部侧依次排列的第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域～第三区域包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极彼此电独立且沿俯视与所述第一方向垂直的第二方向产生电场，所述第一区域及所述第三区域的电场方向与所述第二区域的电场方向相互为相反方向，借助于所述第二方向的所述电场，使所述振动臂产生所述第一方向的伸缩，使所述振动臂向与所述第一方向和所述第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。