振动片、振子、传感器以及电子设备

摘要：

本发明提供振动片、振子、传感器以及电子设备，其课题是减轻与振动片的小型化相伴的形成电极及配线时的负担。振动片(100)包括：基部(10)；振动臂(20)，其从基部(10)起在第1方向(X轴方向)上延伸，在平面视图中在与第1方向垂直的第2方向(Y轴方向)上具有宽度(w)，且在与第1方向及第2方向垂直的第3方向(Z轴方向)上具有厚度(t)；以及第1梳齿电极(第1电极(41a)、第2电极(41b))、第2梳齿电极(第1电极(41c)、第2电极(41d))，它们设置在振动臂(20)的与第3方向垂直的第1面(A)及与第1面(A)相对的第2面(B)上，在第1方向上排列有电极指，通过由两个梳齿电极产生的第1方向的电场(Ex1、Ex2)，使振动臂(20)产生第1方向的伸缩，使振动臂(20)在第3方向上振动。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201110059547.5

申请日期：2011-03-11

公开/公告号：CN102195601A

公开/公告日：2011-09-21

主分类号：H03H9/15(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:西泽竜太

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:李辉%黄纶伟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种振动片，其特征在于，包含：基部；振动臂，其从上述基部起在第1方向上延伸，在平面视图中在与上述第1方向垂直的第2方向上具有宽度，且在与上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向上具有厚度；以及梳齿电极，其设置在上述振动臂的与上述第3方向垂直的第1面以及与上述第1面相对的第2面中的至少一方上，且在上述第1方向上排列有电极指，通过由上述梳齿电极产生的上述第1方向上的电场，使上述振动臂产生上述第1方向上的伸缩，使上述振动臂在上述第3方向上振动。