压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明提供抑制吸气工序时的接合膜的飞散并能得到良好的电特性的压电振动器的制造方法、搭载了能得到良好的电特性的压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。其特征在于包括以下工序：吸气工序(S80)，从基底基板(2)的外侧贯通基底基板(2)而对吸气材料(34)照射第一激光(L1)，使吸气材料(34)激活，从而吸附存在于空腔(C)内的气体；以及频率调整工序(S90)，从基底基板(2)的外侧贯通基底基板(2)而对形成在压电振动片(4)的振动腕部(10、11)的前端的重锤金属膜(21)照射第二激光(L2)，对压电振动片(4)的频率进行调整，吸气工序(S80)中的第一激光(L1)的强度弱于频率调整工序(S90)中的第二激光(L2)的强度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201110007590.7

申请日期：2011-01-07

公开/公告号：CN102122930A

公开/公告日：2011-07-13

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:福田纯也

主申请人地址:日本千叶县千叶市

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%王忠忠

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种压电振动器的制造方法，其中该压电振动器包括：互相接合的基底基板及盖基板、在所述盖基板的与所述基底基板的接合面侧的整个表面形成的接合膜、在所述基底基板和所述盖基板之间形成的空腔、密封于所述空腔内且安装于所述基底基板的压电振动片、以及密封于所述空腔内且形成在所述基底基板的吸气材料，其特征在于，所述制造方法包括：吸气工序，从所述基底基板的外侧贯通所述基底基板而对所述吸气材料照射第一激光，从而激活所述吸气材料而吸附存在于所述空腔内的气体；以及频率调整工序，从所述基底基板的外侧贯通所述基底基板而对形成在所述压电振动片的振动腕部的前端的重锤金属膜照射第二激光，调整所述压电振动片的频率，所述吸气工序中的所述第一激光的强度弱于所述频率调整工序中的所述第二激光的强度。