无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件
一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉,钢丝托脚焊接在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中,在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性能良好的优点,用它作为硅片托架主体杆,空心管结构吸热量少。在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性,从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体,能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求,降低了硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。
实用新型
CN201020581480.2
2010-10-29
CN201858872U
2011-06-08
F27B9/24(2006.01)I
常州亿晶光电科技有限公司
孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼
213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号
常州市维益专利事务所 32211
周祥生
江苏;32
一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,其特征是:它包括金属套(41)、钢丝托脚(42)、陶瓷涂层(43)和限位螺钉(44),钢丝托脚(42)焊接在金属套(41)上,在金属套(41)上设有螺纹孔(45),限位螺钉(44)旋接在金属套(41)上的螺纹孔(45)中,在钢丝托脚(42)的外表面上设有陶瓷涂层(43)。