五管式硅片输送装置

摘要：

本实用新型为无网带硅电池片烧结炉提供一种五管式硅片输送装置，包括两根固定托架和三根移动托架，固定托架和移动托架的结构相同，它们都包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上。由于固定托架安装在两固定架上；移动托架安装在两滑板上；滑动板在往复升降机构和往复平移机构的作用下，依次完成上升、前移、下降、后退动作，使固定托架上的硅片在移动托架的作用下逐步经过隧道式烧结箱，顺利完成烧结，硅片只与托脚接触，从而提高硅片的烧结质量。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201020581455.4

申请日期：2010-10-29

公开/公告号：CN201858873U

公开/公告日：2011-06-08

主分类号：F27B9/30(2006.01)I

申请/专利权人:常州亿晶光电科技有限公司

发明/设计人:孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼

主申请人地址:213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号

专利代理机构:常州市维益专利事务所 32211

代理人:周祥生

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种五管式硅片输送装置，其特征是：它包括两根固定托架(41)和三根移动托架(42)，二根固定托架(41)的两端分别安装在固定架(12、32)上，三根移动托架(42)的两端分别安装在滑动板(17、37)上，且固定托架(41)间隔地位于移动托架(42)之间，固定托架(41)和移动托架(42)的结构相同，它们都包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414)，托脚(413)固定在金属套(412)上，在金属套(412)上设有螺纹孔(416)，金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。