改善扩散方阻均匀性的扩散炉

摘要：

本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉，它包括炉管，炉管上的进气口和尾气管，在进气口设置气流均匀分散器。由于现有扩散设备在扩散过程中，工艺气体直接从炉管尾进气口进入炉管，没有分散，造成炉管内气流不均匀，最终造成扩散后方阻均匀性较差。通过在炉尾进气口添加匀流器，可以有效地改善气流均匀性，最终达到方阻均匀性改善的效果。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201020547743.8

申请日期：2010-09-29

公开/公告号：CN201852445U

公开/公告日：2011-06-01

主分类号：F27B17/00(2006.01)I

申请/专利权人:常州天合光能有限公司

发明/设计人:蒋文曲

主申请人地址:213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号

专利代理机构:常州市维益专利事务所 32211

代理人:王凌霄

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种改善扩散方阻均匀性的扩散炉，包括炉管(1)，炉管(1)上的进气口(2)和尾气管(3)，其特征是：在所述的进气口(2)设置气流均匀分散器(4)。