一种柔性集成化超声换能器

摘要：

一种柔性集成化超声换能器，由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成，具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。本实用新型为了便于制备二维柔性超声换能器阵列，采用柔性PET作为基底，PET基底上沉积一层二氧化硅薄膜用于隔离湿汽；用PVDF薄膜作为超声传感器的压电材料具有压电性能好、低声阻抗、与水和有机体具有良好的声阻抗匹配，从而使灵敏度提高、频带变宽；PVDF薄膜的高柔顺性为压电传感器集成提供良好的技术基础。采用有机薄膜晶体管作为内置信号放大，提高增益和信噪比，改善抗干扰能力。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201020231298.4

申请日期：2010-06-18

公开/公告号：CN201804553U

公开/公告日：2011-04-20

主分类号：G10K9/122(2006.01)I

申请/专利权人:华南理工大学

发明/设计人:刘玉荣;姚若河;韦岗

主申请人地址:510640 广东省广州市天河区五山路381号

专利代理机构:广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人:何淑珍

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种柔性集成化超声换能器，其特征在于由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成，具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。