一种石英音叉的加工方法

摘要：

本发明提供一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下：A)原料片研磨，将原料片研磨至规定厚度；B)抛光，原料片表面抛光处理，使其成为镜面；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉形状；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。完成后的音叉尺寸为长度：3170～3185μm，宽度：495～515μm，厚度：125～145μm。本发明所述方法利用光刻腐蚀技术加工的石英音叉提高石英音叉的加工精度，不需要用到切割机，减少了对切割机的维护。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010617322.2

申请日期：2010-12-31

公开/公告号：CN102142823A

公开/公告日：2011-08-03

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:苏州普锐晶科技有限公司

发明/设计人:任剑锋

主申请人地址:215000 江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区嵩山路185号枫桥工业园23幢

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下：A)原料片研磨，将原料片研磨至一定厚度；B)抛光，将研磨完成的原料片表面抛光处理，使其成为镜面；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉的形状；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。