弹性波装置

摘要：

本发明提供一种弹性波装置，即使放置在高温下，也能够抑制电阻的增大及频率特性的恶化，且能够抑制耐电力试验的特性的恶化。弹性波装置(1)具有在压电基板(2)上形成的IDT电极(3)，IDT电极(3)由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜(3b)、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜(3e)以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜(3c)及Ti膜(3d)，Cu膜(3c)及Ti膜(3d)中的Cu膜(3c)配置于第一金属膜(3b)侧。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010605965.5

申请日期：2010-12-23

公开/公告号：CN102111121A

公开/公告日：2011-06-29

主分类号：H03H9/25(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社村田制作所

发明/设计人:玉崎大辅;津田基嗣;山崎央;佐伯昌彦;堀川晴信

主申请人地址:日本京都府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:樊建中

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种弹性波装置，其具备压电基板、和在所述压电基板上形成的IDT电极，所述IDT电极由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜、以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜及Ti膜，Cu膜及Ti膜中的Cu膜配置于第一金属膜侧。