压阻MEMS谐振器

摘要：

本发明提供了一种压阻MEMS谐振器，包括：锚(12)、安装在锚上的谐振器(10)、安装的用于在谐振器上施加静电力的致动器(16)、以及包括与致动器耦接的纳米线(18)的压阻读出装置。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010604008.0

申请日期：2010-12-22

公开/公告号：CN102122934A

公开/公告日：2011-07-13

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:NXP股份有限公司

发明/设计人:格哈德·库普斯;约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克

主申请人地址:荷兰艾恩德霍芬

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:王波波

国别省市代码:荷兰;NL

权利要求：

一种压阻MEMS谐振器，包括：锚(12)；谐振器本体(10)，安装在锚上；致动器(16)，被安装用于在谐振器上施加静电力；以及压阻读出装置，包括耦接至谐振器的纳米线(18)，其中，谐振器本体具有至少100μm2的面积，纳米线具有至多10?14m2的横截面。