振动片、振子、振荡器、电子设备以及频率调整方法

摘要：

本发明提供振动片，能在不影响振动特性的情况下进行高精度的频率调整。该振动片具有：基部(15)；从基部(15)起延伸的进行面外振动的振动臂(11，12，13)；激励电极，其形成在振动臂(11，12，13)上，对振动臂(11，12，13)进行激励；第1质量部(51，52，53)，其形成在振动臂(11，12，13)上，调整振动臂(11，12，13)的频率，第1质量部(51，52，53)和激励电极配置在随振动臂(11，12，13)的面外振动而交替被施加压缩力和拉伸力的相对的面中的一个面上，第1质量部(51，52，53)位于距基部(15)超过振动臂(11，12，13)的长度的1/2的振动臂(11，12，13)的末端侧，由密度D(×103kg/m3)在2.20≤D≤8.92的范围内的金属膜或绝缘膜形成。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010603113.2

申请日期：2010-12-23

公开/公告号：CN102111118A

公开/公告日：2011-06-29

主分类号：H03H9/21(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:河合宏纪

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:李辉%黄纶伟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部，其设置在包含第1轴和与该第1轴垂直的第2轴的平面上；振动臂，其从所述基部起在第1轴方向上延伸；激励电极，其设置在所述振动臂上，对所述振动臂进行激励；以及第1质量部，其设置在所述振动臂上，调整所述振动臂的频率，所述振动臂在与所述平面垂直的方向上进行弯曲振动，且具有第1面和第2面，所述第1面随着弯曲振动而发生压缩或拉伸，所述第2面在所述第1面压缩时发生拉伸、在所述第1面拉伸时发生压缩，所述第1质量部设置在距所述振动臂的所述基部侧的端部、超过第1轴方向的全长的1/2的区域内，而且使用了密度D在2.20≤D≤8.92的范围内的材料，其中，所述密度D的单位是103kg/m3。