振动片的制造方法和振子的制造方法

摘要：

本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010597292.3

申请日期：2009-01-04

公开/公告号：CN102064790A

公开/公告日：2011-05-18

主分类号：H03H9/10(2006.01)I

申请/专利权人:爱普生拓优科梦株式会社

发明/设计人:山崎隆;舩坂司;舟川刚夫;古畑诚

主申请人地址:日本东京都日野市日野421-8

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:党晓林

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种振动片，其特征在于，该振动片具有支撑体，该支撑体具有：第一表面；第二表面，该第二表面沿着所述第一表面；基部；以及臂部，该臂部从所述基部沿着所述第一表面和所述第二表面的至少一方延伸，并在所述第一表面和所述第二表面之间的厚度方向上振动，在所述臂部的所述第一表面上形成有下部电极膜，在所述下部电极膜和上部电极膜之间形成有压电膜，所述臂部的至少一部分具有使所述臂部的所述第二表面露出的露出区域，该振动片中，在所述臂部的所述第二表面形成有加重金属膜，所述加重金属膜的表面和所述露出区域形成有阶梯差。