振动片、振子、物理量传感器以及电子设备

摘要：

本发明提供降低了振动损失，在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有：基部(20)；从基部延伸的多个振动臂(40、50)，具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52)，至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44)，振动片具有：检测电极(71)，设于振动臂(40)的侧面(42)；检测电极(72)，设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置；检测电极(73)，设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010583309.X

申请日期：2010-12-10

公开/公告号：CN102098022A

公开/公告日：2011-06-15

主分类号：H03H9/21(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:西泽竜太

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:黄纶伟%马建军

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；以及从所述基部延伸的多个振动臂，其具有彼此相对的第1主面和第2主面、以及连接所述第1主面和所述第2主面且彼此相对的第1侧面和第2侧面，所述多个振动臂中的至少一个振动臂的所述第1侧面具有从所述第1主面侧起设置的第1阶梯部和从所述第2主面侧起设置的第2阶梯部，该振动片具有：第1电极，其设于所述振动臂的所述第2侧面；第2电极，其设于所述第1阶梯部的与所述第1电极相对的位置；以及第3电极，其设于所述第2阶梯部的与所述第1电极相对的位置。