弹性表面波元件

摘要：

本发明提供一种弹性表面波元件(1)，其中具备：压电基板(2)，其由LiNbO3或LiTaO3的单晶形成；基底电极层(5)，其形成在所述压电基板上且以Ti及Cr的至少一方为主成分；Al电极层(4)，其为形成在基底电极层(5)上且以Al为主成分而外延生长的取向膜，并且具有通过XRD极点图出现6次对称点的双晶结构，平均粒径为60nm以下。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010548572.5

申请日期：2010-11-15

公开/公告号：CN102064792A

公开/公告日：2011-05-18

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社村田制作所

发明/设计人:小西善之;福田真一

主申请人地址:日本京都府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:张宝荣

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种弹性表面波元件，其特征在于，具备：压电基板，其由LiNbO3或LiTaO3的单晶构成；基底电极层，其形成在所述压电基板上且以Ti及Cr的至少一方为主成分；Al电极层，其为形成在所述基底电极层上且以Al为主成分而外延生长的取向膜，并且具有利用XRD极点图而呈现6次对称点的双晶结构，平均粒径为60nm以下。