基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块

摘要：

一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块，包括：一差分信号产生电路；一MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接；一电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接；一互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接；一频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接；一频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接，该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接，当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时，提供相应的直流电压信号给滤波器芯片，使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010534603.1

申请日期：2010-11-03

公开/公告号：CN101984557A

公开/公告日：2011-03-09

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院半导体研究所

发明/设计人:宁瑾;李永梅;韩国威;杨富华

主申请人地址:100083 北京市海淀区清华东路甲35号

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:汤保平

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块，包括：一差分信号产生电路，该差分信号产生电路的一端为信号输入端，另一端为信号输出端，作用是把输入信号转换为同频反相的两路信号，提供给MEMS滤波器芯片作为工作电压；一MEMS滤波器芯片，该MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接，接收差分信号产生电路输出的两路同频反相信号，并对其进行滤波处理，选择输出相应频带内的信号；一电压转换电路，该电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接，作用是将外界输入的直流电压转换为MEMS滤波器芯片达到静电谐振工作状态需要的直流偏压；一互阻放大电路，该互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接，把MEMS滤波器芯片的输出电流信号转换为电压信号；一频率漂移检测电路，该频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接，用于检测互阻放大电路的输出信号的频率漂移情况，当输出信号的频率发生漂移时，输出预警信号；一频率稳定电路，该频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接，该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接，当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时，提供相应的直流电压信号给滤波器芯片，使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。