一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法
本发明涉及一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法，其包括以下步骤：1)将微机械谐振式器件中的振动拾取结构上的两个差分电极同时连接一振动信号读取装置；2)在微机械谐振式器件中的驱动结构的两个差动驱动电极上分别施加驱动电压VL和VR；3)振动信号读取装置将微机械谐振式器件中的两个差分电极输出的电容变化量读取出来，并将电容变化量转换为电压变化量，输送给滤波器；4)滤波器将步骤3)中得到的电压变化量中的电耦合信号进行滤除，并得到一能够体现所述微机械谐振式器件的谐振频率信息的振动电压信号。本发明能够减小低频段噪声和谐振频率处噪声以及避免驱动电压和驱动力之间出现非线性关系，适用于谐振式微悬臂梁、微谐振器、微机械陀螺和谐振式微加速度计等微机械谐振式器件。
发明专利
CN201010521639.6
2010-10-21
CN102136830A
2011-07-27
H03H9/24(2006.01)I
北京大学
崔健;闫桂珍;郭中洋;杨振川;郝一龙
100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子研究院
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
徐宁%关畅
北京;11
一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法，通过控制施加在微机械谐振式器件中的驱动结构的驱动电压，来控制微机械谐振式器件的振动频率，其包括以下步骤：1)将微机械谐振式器件中的振动拾取结构上的两个差分电极同时连接一振动信号读取装置；2)在微机械谐振式器件中的驱动结构的两个差动驱动电极上分别施加驱动电压VL和VR，使驱动电压VL和VR满足：VL＝(Vacsinωndt+G)·f(p，ωct)+n1VR＝(Vacsinωndt?G)·f(p，ωct)+n2式中，Vac为调制信号中交流分量幅度；ωnd为调制信号中交流分量频率，等于微机械谐振式器件的固有谐振频率；G为幅度控制信号；f(p，ωct)为外界加载的载波电压信号，其幅度为p，频率ωc大于微机械谐振式器件的固有谐振频率；n1，n2分别为两路驱动电压上的噪声；3)振动信号读取装置将微机械谐振式器件中的两个差分电极输出的电容变化量读取出来，并将电容变化量转换为电压变化量，输送给滤波器；4)滤波器将步骤3)中得到的电压变化量中的电耦合信号进行滤除，并得到一能够体现所述微机械谐振式器件的谐振频率信息的振动电压信号。