振动片、振子、振荡器以及电子设备

摘要：

本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010502124.1

申请日期：2010-09-30

公开/公告号：CN102035499A

公开/公告日：2011-04-27

主分类号：H03H9/21(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:古畑诚;山崎隆

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:李辉%黄纶伟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；以及振动臂部，其从所述基部起在第1方向上延伸，进行弯曲振动，所述振动臂部具有一方的主面和与所述一方的主面相对的另一方的主面，在所述一方的主面上具有沿着所述振动臂部的所述第1方向设置的第1槽部，在所述另一方的主面上具有第2槽部，在平面视图中，该第2槽部在与所述第1方向垂直的第2方向上，与所述第1槽部并列地设置，在所述另一方的主面上具有第3槽部，在平面视图中，该第3槽部在所述第1方向上与所述第1槽部并列地设置，且相比于所述第1槽部，被设置在所述基部侧，在所述一方的主面上具有第4槽部，在平面视图中，该第4槽部在所述第1方向上与所述第2槽部并列地设置，且相比于所述第2槽部，被设置在所述基部侧，所述第1槽部的深度与所述第2槽部的深度之和、以及所述第3槽部的深度与所述第4槽部的深度之和大于所述一方的主面与所述另一方的主面之间的距离。