f-theta光学镜头

摘要：

本发明提供一种f-theta光学镜头，其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜，第二透镜，以及第三透镜，其中所述的第一透镜为双凹型透镜，第二透镜为弯月型透镜，且曲面均向着光线入射方向弯曲，第三透镜为双凸型透镜，该镜头的焦距为160mm，入瞳直径为12mm，入射光波长为355nm，视场角为ω，其中2ω＝50°，加工面积为100*100mm2。本发明的f-theta光学镜头整体结构非常紧凑，加工聚焦光斑小、能量更加集中，可在某些要求加工出来的效果超精细的特殊材料上进行打标或刻划，使平象场要求得到满足，所有像差的校正都几乎达到了理想分辨率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010207744.2

申请日期：2010-06-22

公开/公告号：CN101881875A

公开/公告日：2010-11-10

主分类号：G02B13/18(2006.01)I

申请/专利权人:深圳市大族激光科技股份有限公司

发明/设计人:李家英;周朝明;高云峰

主申请人地址:518057 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号

专利代理机构:深圳市科吉华烽知识产权事务所 44248

代理人:胡吉科

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种f-theta光学镜头，其特征在于：其包括沿入射光线传输方向设置的第一透镜，第二透镜，以及第三透镜，其中所述的第一透镜为双凹型透镜，第二透镜为弯月型透镜，且曲面均向着光线入射方向弯曲，第三透镜为双凸型透镜，该镜头的焦距为160mm，入瞳直径为12mm，入射光波长为355nm，视场角为ω，其中2ω＝50°，加工面积为100*100mm2。