复合基板及使用其的弹性波器件

摘要：

本发明提供一种复合基板，其用于弹性表面波器件，耐热性优异。复合基板(10)具有：压电基板(12)，其由钽酸锂(LT)形成，能够传播弹性波；支持基板(14)，其在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板(12)的背面，其为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板；粘合两基板(12)、(14)的粘合层(16)。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010171034.9

申请日期：2010-04-28

公开/公告号：CN102130663A

公开/公告日：2011-07-20

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:日本碍子株式会社

发明/设计人:铃木健司

主申请人地址:日本爱知县

专利代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人:钟晶

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种复合基板，其具有：压电基板，所述压电基板能够传播弹性波；支持基板，所述支持基板在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板的背面，为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板。