复合基板及金属图形的形成方法

摘要：

本发明涉及一种复合基板及金属图形的形成方法。其中，该复合基板是一种通过有机粘合层粘合了压电基板和支撑基板的复合基板，利用剥离加工，能够高精度地形成所需的金属图形。复合基板(10)，是通过有机粘合层(13)粘合了能够透射用于光刻蚀的光线的压电基板(11)、和支撑该压电基板(11)的支撑基板(12)的复合基板。该复合基板(10)中，支撑基板(12)和有机粘合层(13)的至少一方能够吸收用于光刻蚀的光线。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201010171023.0

申请日期：2010-04-28

公开/公告号：CN102098019A

公开/公告日：2011-06-15

主分类号：H03H9/00(2006.01)I

申请/专利权人:日本碍子株式会社

发明/设计人:铃木健司;岩崎康范;吉野隆史

主申请人地址:日本爱知县

专利代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人:钟晶

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种复合基板，是通过有机粘合层粘合了能够透射用于光刻蚀的光线的压电基板、和支撑该压电基板的支撑基板的复合基板，其中，所述支撑基板和所述有机粘合层的至少一方能够吸收所述用于光刻蚀的光线。